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高壓蒸汽

主要通過使微生物中的酶和蛋白質不可逆凝固及變性來殺滅微生物。

主要用來處理水、藥劑、管制醫療廢物和表面可直接接觸蒸汽的無孔物品。對于帶孔裝載物和器械，一般的滅菌溫度和時間分別為132～135 ℃ ，持續3～4 min。常用的殺菌溫度為121℃和132℃。

無毒、環保，過程易于控制和監測，殺菌快速有效，滅菌過程受有機或無機污物影響最小，滅菌循環時間短，能有效穿透器械包和管腔型器械。

對熱敏性器械有損壞，反復的滅菌暴露會損壞精密外科器具，可能會因濕包而造成器械生銹，潛在燙傷風險。

過氧化氫等離子

過氧化氫等離子體具有高氧化活性，通過破壞細胞的蛋白質，酶與核酸來殺滅微生物。

用于不耐熱、不耐濕醫療用品的滅菌。

安全環保，無有毒物質殘留，滅菌周期28—75 min，無須解析，適用于熱和濕敏感的物品滅菌，易于操作、安裝和監測，和大多數器械兼容。

不適用于紙纖維、棉麻和液體類物品，滅菌腔體尺寸較小(50～270 L)，不適用于腔鏡類或帶有細長管腔的器械，需要用合成類包裝(如聚丙烯包裝或聚烯烴管袋等)，高于1  ppm計量的過氧化氫可能會有毒。

環氧乙烷氣體

環氧乙烷通過使蛋白質、DNA、RNA烷基化，不可逆的阻止正常細胞的代謝和復制來誘導細胞死亡。

用于對不耐濕、不耐熱的高危險度物品或中危險度物品。

可以針對熱敏及濕敏的醫療設備進行滅菌，且對其材料無有害影響，可有效穿透包裝材料和管腔型器械，單劑量盒且負壓操作，降低氣體泄露風險，易于操作和監測，與大多數器械兼容。

成本高，對病人和醫務人員存在潛在危害。須長時解析去除環氧乙烷氣體殘留，滅菌器體積較小(110-250L)，有毒、致癌且易燃，罐體須存放在防爆倉儲柜，需要很長的滅菌循環和解析時間。

電離輻射

以放射性同位素鈷60放射的γ射線作為有效滅菌因子，γ射線可誘導細胞產生自由基，破壞正常代謝，進而導致微生物的滅活。

應用于許多醫療產品(如組織移植、藥品、醫療器械)的低溫滅菌法。

對溫度環境無特殊要求可在室溫下進行，滅菌均勻徹底、速度快、可連續作業。適用于大規模滅菌。

滅菌成本高，某些產品經輻射后可能發生性質改變，注意安全防護問題。

干熱滅菌

通過細胞組分的高溫氧化作用致細菌死亡。

用于那些不耐濕熱或不能被濕熱穿透(如粉劑，石油產品，鋒利器具)的材料。最常見的時間與溫度是170 ℃ 和60 min，160 ℃和120  min以及150 ℃和150 min。

無毒，環境友好，干熱柜易于安裝，操作成本相對低，可穿透材料，對金屬和銳器無腐蝕等。

滅菌熱穿透和微生物殺滅的速度慢，滅菌耗時。高溫不適于大多數材料。